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从石英坩埚的性能转变问题来看，它在高温下具有趋向变成二氧化硅的晶体(方石英)的趋势。这个过程称为再结晶，***大口径石英管，也称为“失透”，通常也称为“析晶”。发生此现象的原因包括：1、用于拉晶的原料纯度低，大口径石英管厂家，所含杂质太多或清洗工艺存在问题。2、石英坩埚受到沾污，在所有队石英坩埚的沾污中，碱金属离子钾(K)钠(Na)锂(Li)和碱土金属离子钙(Ca)镁(Mg)这些离子的存在是石英坩埚产生析晶的主要因素。

 

PECVD中用的石英管规格主要有两种：30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用： 1) 石英管是硅材料，它界定了反应的范围，使反应均匀。做真空chamber用；石英管，结合前后盖板，提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用，昆明市大口径石英管， 本身不产生等离子体，是微波源与铜波导管产生的。 2)干净，钠离子含量低； 为什么要定期更换石英管？ 定期更换石英管，也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了，石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx，影响石英管的激发效果，会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数，所以要定期更换。

石英管怎么辨别好与坏

一：闻起来有很天然的石味道、闻气味残次的石英石出产过程中加入了含甲醛的胶水，好的石英管都是环保材料出产。出产出的板材有很浓的甲醛味，这种石英管报价再贱卖也不能选啊，危害生命！

二：有气孔则欠好的石英管、表面是不是有气孔。

三：不明显的为好的产品、拼接处缝隙。

四：划痕深而且明显地为不合格、钥匙或许铅笔刀划。

五：简略掉落石头粉末为不合格、200目以下砂纸打磨。

六：有切开崩裂口者为不合格、切开面上下沿。

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